■工件深孔内的空气能被吸出，清洗液能容易流入，清洗能力大幅提高。

■清洗液中的气体被脱出后，超声波效果更好。

■清洗液可以被加热，对污垢的溶解力倍增。

■在真空中溶液沸点下降蒸发速度加快，附着在物体上的溶剂迅速挥发。

■从清洗到干燥是在真空中进行，氧气浓度极低不必担心着火。

■清洗槽一直处于真空压力下，被加热的溶液不会暴露在大气里。

■即便有泄漏，因清洗槽处于真空状态，只会从外部往真空槽内漏气，当槽内压力上升时，通过设置的压力检知器可及时发现漏气问题。

■用真空泵将清洗室或干燥槽抽出来的碳氢化合物蒸气和雾气，在气液分离槽中被冷却凝缩回收、排气瓦斯浓度大幅度降低

■ 采用安全防爆性真空泵，间接加热，防爆电控系统。